一般選擇防靜電地板或無(wú)塵自流平地坪。防靜電地板具有消除靜電并控制塵埃的特性，適用于需要防止靜電干擾和避免塵埃積聚的場(chǎng)所。無(wú)塵自流平地坪則具有平整、易清潔的特點(diǎn)，對(duì)塵埃控制也較為有效。

　　高架地板：百級(jí)無(wú)塵車(chē)間屬于比較高的潔凈度級(jí)別，一般對(duì)于環(huán)境要求很高的產(chǎn)品才會(huì)用到這種級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間，而要想達(dá)到百級(jí)的凈化級(jí)別，使用的凈化設(shè)備也比較特殊，通常采用車(chē)間的吊頂上滿(mǎn)布FFU的方式來(lái)凈化空氣，由于FFU是采用的垂直流，所以需要在車(chē)間的地面鋪設(shè)合適高度的帶孔的高架地板，它將經(jīng)過(guò)潔凈室頂部高效過(guò)濾器(FFU)處理的空氣垂直導(dǎo)入地板下方的回風(fēng)道，從而在潔凈室內(nèi)形成垂直的氣流流形。